为了提高元件(如晶体管)和金属材料的耐温、耐腐蚀等特性，需要在表面喷镀或扩散渗透一层至多层金属薄膜。薄膜厚度在10埃到几个微米左右。对于极薄的单金属薄层可以用特征x射线的强度变化来对其厚度进行测定。其方法是:先MI1出薄膜金属的特征x射线强度，除以纯金属块相同波长x射线的强度而换算成相对强度百分值，然后用此值查对标准曲线，即可N'l1到金属薄膜的厚度。

标准曲线是将一系列已知厚度(厚度可用光学干涉等方法测量)的薄膜测出其相对强度百分值后绘出的。由于这种侧厚法要求在测量样品厚度时的实验条件应与标准曲线一致，而且薄膜下的基底也应是相同的材料，所以只适用于对大量薄膜产品进行检验方法。

虽然如此，但它仍有其独特的优点，例如对那些合金薄膜或腐蚀薄膜，扩散渗透薄膜等多元素组成的薄膜，在测最其厚度的同时，尚可测定薄膜中的元素组成，因为相对强度百分值代表的是质量厚度(毫克/厘米，)而并不是直接代表单纯的厚度(厘米)，所以薄膜中各个组成的毫克/厘米2值相加起来，即可以得到总的成分。